Einkristall-Wachstumsofen

Kurze Beschreibung:

Der Einkristallofen wird auch Monokristallofen genannt. Dabei handelt es sich um ein Gerät, das polykristalline Materialien wie Polysilizium mit einer Graphitheizung in einer Inertgasumgebung (Stickstoff- und Heliumgas) schmilzt und Einkristalle ohne Versetzung unter Verwendung der Direktzugmethode züchtet.

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Anwendung

Einkristallofen, der häufig zum Züchten von Halbleiterbarren aus Silizium, Saphir oder Germanium verwendet wird.Typische Anordnungen sind vertikale Kristallzieher mit von vorne zu öffnender Tür.

Vorteile

Wir können die beiden wichtigsten Parameter gewährleisten, die für ein kritisches Wachstum notwendig sind: Stabilität und Kontrolle.Beides ist notwendig, um Konsistenz, Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit zu erreichen – die Schlüssel für ein erfolgreiches Kristallwachstum im Labor und in der Produktion.

1. Stabilität bietet dem Kristallzüchter eine bekannte und konstante Umgebung für anspruchsvolles Kristallwachstum.Stabilität gewährleistet gleichmäßige, genau definierte Temperaturen und Wärmegradienten für gleichmäßige Schmelzen und Zonenverfeinerung.Stabilität erfordert gut kontrollierte Gas- oder Vakuumumgebungen.Stabilität beim Kristallwachstum erfordert sanfte, äußerst konstante, vibrationsfreie Bewegungen mit großen und dynamischen Bereichen, programmierbaren ersten und zweiten Ableitungen und Mehrachsenkonfigurationen – doch alle müssen kontrolliert werden.

2. Die Steuerung erfolgt über unsere automatische Computersystemschnittstelle, die die Temperaturen genau dort hält, wo sie eingestellt sind, und sich schnell und reibungslos auf neue Werte mit minimalem Überschwingen umstellt.Das Bewegungssystem muss Zugraten liefern, die von Moment zu Moment und von Woche zu Woche sowohl zeitlich als auch räumlich äußerst konsistent sind.Die Positionsgenauigkeit muss während des gesamten Ziehzyklus aufrechterhalten werden, um konsistente und wiederholbare Ergebnisse des Kristallwachstumssystems sicherzustellen.

3. Bietet Ihnen eine komplette, integrierte Präzisionskristallzuchtausrüstungmit automatischer Durchmesserkontrolle, modernste Tiegeltechnologie.